



كتلة محول VCR خارجي ملولب UHP مُشغَّلة باستخدام CNC لتوصيل الغاز في أشباه الموصلات. فولاذ مقاوم للصدأ 316L، مصقولة كهربائياً، Ra 0.4μm. متوافقة مع SEMI F20. إمكانية تتبع كاملة. اطلب عرض أسعار.
| المشروع | قيم المعلمات | |
كتلة محول تركيب صمام تحكم التدفق VCR ذكر 316L EP | المادة | 316L Stainless Steel (1.4404) |
التشطيب السطحي الداخلي | Electropolished Ra ≤ 0.4μm (16 μin) | |
نوع التركيب | VCR Male Face Seal | |
معدل التسرب | ≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/sec He | |
النظافة والتعبئة والتغليف | Ultrasonic Cleaned, Cleanroom Double-Bagged | |
المعايير | SEMI F20, SEMI F81 | |
إمكانية التتبع | Full Material & Batch Traceability | |
يتم تصنيع كتلة المحول ذات التركيب الملولب الخارجي VCR باستخدام CNC لأنظمة توصيل الغاز فائقة النقاوة (UHP) في معدات تصنيع رقائق أشباه الموصلات. مصنعة بدقة من الفولاذ المقاوم للصدأ 316L مع أسطح داخلية مصقولة كهربائياً (Ra ≤ 0.4μm / 16 μin)، مما يضمن أداءً خالياً من الجسيمات وتحكماً في إطلاق الغازات في بيئات غازات المعالجة الحرجة. يوفر تركيب مانع التسرب الوجهي الذكري VCR المتكامل إحكاماً معدنياً ضد المعدن خالياً من التسرب لتوصيلات الغاز عالية السلامة. تخضع كل كتلة محول لاختبار تسرب الهيليوم (≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/sec He)، ويتم تنظيفها بالموجات فوق الصوتية، وتعبئتها في كيسين داخل بيئة غرفة نظيفة. توفر عملية التصنيع المعتمدة بموجب ISO 9001 إمكانية تتبع كاملة للمواد، وتقارير فحص الأبعاد، وشهادة تشطيب الأسطح مع كل شحنة. تتوفر تكوينات منافذ وأحجام لولبة وتشطيبات أسطح مخصصة حسب الطلب.
حاصل على شهادة ISO 9001 · أكثر من 15 عامًا من الخبرة · أكثر من 80 ماكينة CNC · عرض أسعار خلال 24 ساعة
Product Inquiry