



CNC-gefertigter UHP VCR Adapterblock mit Außengewinde für die Halbleiter-Gasversorgung. Edelstahl 316L, elektropoliert, Ra 0,4 μm. SEMI F20 konform. Vollständige Rückverfolgbarkeit. Angebot anfordern.
| Projekt | Parameterwerte | |
316L EP VCR T-Verteiler-Montageadapterblock | Material | 316L Stainless Steel (1.4404) |
Interne Oberflächengüte | Electropolished Ra ≤ 0.4μm (16 μin) | |
Anschlusstyp | VCR Male Face Seal | |
Leckrate | ≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/sec He | |
Reinheit und Verpackung | Ultrasonic Cleaned, Cleanroom Double-Bagged | |
Normen | SEMI F20, SEMI F81 | |
Rückverfolgbarkeit | Full Material & Batch Traceability | |
Dieser VCR-Adapterblock mit Außengewinde wird CNC-gefertigt für hochreine (UHP) Gasversorgungssysteme in Halbleiter-Wafer-Fertigungsanlagen. Präzisionsgefertigt aus Edelstahl 316L mit elektropolierten Innenflächen (Ra ≤ 0,4 μm / 16 μin), gewährleistet er partikelfreie, ausgasungskontrollierte Leistung in kritischen Prozessgasumgebungen. Die integrierte VCR-Male-Face-Seal-Armatur sorgt für eine leckdichte Metall-auf-Metall-Dichtung für hochintegrale Gasanschlüsse. Jeder Adapterblock wird einer Helium-Leckprüfung (≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/s He) unterzogen, ultraschallgereinigt und in einer Reinraumumgebung doppelt verpackt. Unser ISO 9001-zertifizierter Fertigungsprozess liefert mit jeder Lieferung vollständige Materialrückverfolgbarkeit, dimensionelle Prüfberichte und Oberflächengütezertifizierung. Kundenspezifische Anschlusskonfigurationen, Gewindegrößen und Oberflächenausführungen auf Anfrage erhältlich.
ISO 9001 zertifiziert · Über 15 Jahre Erfahrung · Über 80 CNC-Maschinen · Angebot innerhalb von 24 Stunden
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