



Yarı iletken gaz dağıtımı için CNC işlenmiş UHP VCR erkek dişli adaptör bloğu. 316L SS, elektropolise, Ra 0,4μm. SEMI F20 uyumlu. Tam izlenebilirlik. Teklif isteyin.
| Proje | Parametre değerleri | |
316L EP VCR Erkek T Tipi Akış Kontrol Vana Montaj Adaptör Bloğu | Malzeme | 316L Stainless Steel (1.4404) |
İç Yüzey İşlemi | Electropolished Ra ≤ 0.4μm (16 μin) | |
Bağlantı Tipi | VCR Male Face Seal | |
Sızıntı Oranı | ≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/sec He | |
Temizlik ve Ambalaj | Ultrasonic Cleaned, Cleanroom Double-Bagged | |
Standartlar | SEMI F20, SEMI F81 | |
İzlenebilirlik | Full Material & Batch Traceability | |
Bu VCR erkek dişli harici montaj adaptör bloğu, yarı iletken wafer üretim ekipmanlarındaki ultra yüksek saflıkta (UHP) gaz dağıtım sistemleri için CNC ile işlenmiştir. Elektroparlatılmış iç yüzeylere sahip 316L paslanmaz çelikten hassas olarak işlenmiş olup (Ra ≤ 0,4μm / 16 μin), kritik proses gazı ortamlarında partikülsüz, gaz çıkışı kontrollü performans sağlar. Entegre VCR erkek yüzey sızdırmazlık bağlantı parçası, yüksek bütünlüklü gaz bağlantıları için sızdırmaz metal-metal sızdırmazlık sağlar. Her adaptör bloğu helyum sızıntı testine tabi tutulur (≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/sn He), ultrasonik olarak temizlenir ve temiz oda ortamında çift torbada paketlenir. ISO 9001 sertifikalı işleme sürecimiz, her sevkiyatta tam malzeme izlenebilirliği, boyutsal muayene raporları ve yüzey kalitesi sertifikası sunar. İsteğe bağlı olarak özel port konfigürasyonları, diş ölçüleri ve yüzey işlemleri mevcuttur.
ISO 9001 Sertifikalı · 15 Yılı Aşkın Deneyim · 80’den Fazla CNC Makinesi · 24 Saatte Teklif
Product Inquiry