CNC 精密加工 316L EP 90 VCR ダブルフランジ式流量制御バルブボディ — 電解研磨仕上げ、ヘリウムリークテスト済み、UHP 対応。
| プロジェクト | パラメータ値 | |
316L EP 90° VCR フランジ式流量制御バルブボディ（ダブルフランジマウント） | 材質 | 316L Stainless Steel (1.4404) |
内部表面仕上げ | Electropolished Ra ≤ 0.4μm (16 μin) | |
継手タイプ | VCR Face Seal (Male/Female per Port Spec) | |
リークレート | ≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/sec He | |
清浄度と包装 | Cleanliness & Packaging Ultrasonic Cleaned, Cleanroom Double-Bagged | |
規格 | Standards SEMI F20, SEMI F81 | |
トレーサビリティ | Traceability Full Material & Batch Traceability | |
この 316L EP 90° VCR ダブルフランジ式流量制御バルブボディは、精密な流量制御と省スペースな直角接続が求められる超高純度ガス供給システム向けに CNC 精密加工されています。316L ステンレス鋼から精密加工され、すべての内部接液面が電解研磨（Ra ≤ 0.4μm）されているため、重要なプロセスガス環境において、パーティクルフリーでアウトガスを抑制した性能を発揮します。各ポートには一体型 VCR 面シール継手が組み込まれており、高完全性ガス接続のための漏れのない金属対金属シールを提供します。ダブルフランジ取り付け設計により、確実で耐振動性のあるインライン設置が可能です。すべてのバルブボディは、ヘリウムリークテスト（≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/sec He）、超音波洗浄を経て、クリーンルーム環境で二重包装されます。ISO 9001 認証取得の当社の加工プロセスにより、出荷ごとに完全な材料トレーサビリティ、寸法検査レポート、表面仕上げ証明書をお届けします。フランジ寸法、ポートサイズ、表面処理のカスタマイズも承ります。
ISO 9001認証 · 15年以上の経験 · 80台以上のCNC工作機械 · 24時間以内にお見積り
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