



CNC 정밀 가공 316L EP 90 VCR 이중 플랜지형 유량 제어 밸브 바디 — 전해 연마 마감, 헬륨 누출 테스트 완료, UHP 호환.
| 프로젝트 | 매개변수 값 | |
316L EP 90° VCR 플랜지형 유량 제어 밸브 바디 (이중 플랜지 장착) | 재질 | 316L Stainless Steel (1.4404) |
내부 표면 마감 | Electropolished Ra ≤ 0.4μm (16 μin) | |
피팅 유형 | VCR Face Seal (Male/Female per Port Spec) | |
누출률 | ≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/sec He | |
청정도 및 포장 | Cleanliness & Packaging Ultrasonic Cleaned, Cleanroom Double-Bagged | |
표준 | Standards SEMI F20, SEMI F81 | |
추적성 | Traceability Full Material & Batch Traceability | |
이 316L EP 90° VCR 이중 플랜지형 유량 제어 밸브 바디는 정밀한 유량 조절과 공간 절약형 직각 연결이 요구되는 초고순도 가스 공급 시스템을 위해 CNC 정밀 가공되었습니다. 316L 스테인리스 스틸로 정밀 가공되었으며 모든 내부 접액 표면이 전해 연마(Ra ≤ 0.4μm) 처리되어, 중요한 공정 가스 환경에서 입자 발생이 없고 가스 방출이 제어된 성능을 보장합니다. 각 포트에는 통합형 VCR 면실 피팅이 장착되어 있어, 고무결성 가스 연결을 위한 누출 없는 금속 대 금속 밀봉을 제공합니다. 이중 플랜지 장착 설계로 견고하고 진동에 강한 인라인 설치가 가능합니다. 모든 밸브 바디는 헬륨 누출 테스트(≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/sec He), 초음파 세척을 거쳐 클린룸 환경에서 이중 포장됩니다. ISO 9001 인증 가공 공정을 통해 모든 선적 시 완전한 재료 추적성, 치수 검사 보고서 및 표면 마감 인증이 제공됩니다. 맞춤형 플랜지 치수, 포트 크기 및 표면 처리가 요청 시 제공됩니다.
ISO 9001 인증 · 15년 이상의 경험 · 80대 이상의 CNC 기계 · 24시간 이내 견적
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