



CNC işlenmiş 316L EP 90 VCR çift flanşlı akış kontrol vana gövdesi — elektropolise yüzey, helyum sızıntı testli, UHP uyumlu.
| Proje | Parametre Değerleri | |
316L EP 90° VCR Çift Flanşlı Akış Kontrol Vana Gövdesi (Çift Flanş Montajlı) | Malzeme | 316L Stainless Steel (1.4404) |
İç Yüzey İşlemi | Electropolished Ra ≤ 0.4μm (16 μin) | |
Bağlantı Tipi | VCR Face Seal (Male/Female per Port Spec) | |
Sızıntı Oranı | ≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/sec He | |
Temizlik ve Ambalaj | Cleanliness & Packaging Ultrasonic Cleaned, Cleanroom Double-Bagged | |
Standartlar | Standards SEMI F20, SEMI F81 | |
İzlenebilirlik | Traceability Full Material & Batch Traceability | |
Bu 316L EP 90° VCR çift flanşlı akış kontrol vana gövdesi, hassas akış düzenlemesi ve yerden tasarruf sağlayan dik açılı bağlantılar gerektiren ultra yüksek saflıkta gaz dağıtım sistemleri için CNC hassas işleme ile üretilmiştir. Tüm iç ıslak yüzeyleri elektroparlatılmış (Ra ≤ 0,4μm) 316L paslanmaz çelikten hassas olarak işlenmiş olup, kritik proses gazı ortamlarında partikülsüz, gaz çıkışı kontrollü performans sağlar. Her bir port, yüksek bütünlüklü gaz bağlantıları için sızdırmaz metal-metal sızdırmazlık sağlayan entegre VCR yüzey sızdırmazlık bağlantı parçasına sahiptir. Çift flanşlı montaj tasarımı, güvenli ve titreşime dayanıklı hat üstü kurulum sağlar. Her vana gövdesi helyum sızıntı testine tabi tutulur (≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/sn He), ultrasonik olarak temizlenir ve temiz oda ortamında çift torbada paketlenir. ISO 9001 sertifikalı işleme sürecimiz, her sevkiyatta tam malzeme izlenebilirliği, boyutsal muayene raporları ve yüzey kalitesi sertifikası sunar. İsteğe bağlı olarak özel flanş boyutları, port boyutları ve yüzey işlemleri mevcuttur.
ISO 9001 Sertifikalı · 15 Yılı Aşkın Deneyim · 80’den Fazla CNC Makinesi · 24 Saatte Teklif
Product Inquiry