



ตัววาล์วควบคุมการไหลแบบหน้าแปลนคู่ VCR 316L EP 90 กลึง CNC — ผิวขัดไฟฟ้า, ทดสอบการรั่วไหลของฮีเลียม, ใช้กับ UHP ได้
| โครงการ | ค่าพารามิเตอร์ | |
ตัววาล์วควบคุมการไหลแบบหน้าแปลน VCR 316L EP 90° (แบบติดตั้งหน้าแปลนคู่) | วัสดุ | 316L Stainless Steel (1.4404) |
การตกแต่งพื้นผิวภายใน | Electropolished Ra ≤ 0.4μm (16 μin) | |
ประเภทข้อต่อ | VCR Face Seal (Male/Female per Port Spec) | |
อัตราการรั่วไหล | ≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/sec He | |
ความสะอาดและบรรจุภัณฑ์ | Cleanliness & Packaging Ultrasonic Cleaned, Cleanroom Double-Bagged | |
มาตรฐาน | Standards SEMI F20, SEMI F81 | |
การตรวจสอบย้อนกลับ | Traceability Full Material & Batch Traceability | |
ตัววาล์วควบคุมการไหลแบบหน้าแปลนคู่ VCR 316L EP 90° นี้ผ่านการกลึง CNC อย่างแม่นยำ สำหรับระบบจ่ายก๊าซความบริสุทธิ์สูงพิเศษที่ต้องการการควบคุมการไหลที่แม่นยำและการเชื่อมต่อแบบมุมฉากที่ประหยัดพื้นที่ กลึงอย่างแม่นยำจากสแตนเลส 316L โดยพื้นผิวเปียกภายในทั้งหมดขัดเงาด้วยไฟฟ้า (Ra ≤ 0.4μm) ทำให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพที่ปราศจากอนุภาคและควบคุมการปล่อยก๊าซในสภาพแวดล้อมก๊าซกระบวนการที่สำคัญ แต่ละพอร์ตมีข้อต่อซีลหน้า VCR ในตัว ให้การซีลระหว่างโลหะกับโลหะที่ป้องกันการรั่วไหลสำหรับการเชื่อมต่อก๊าซที่มีความสมบูรณ์สูง การออกแบบการติดตั้งแบบหน้าแปลนคู่ช่วยให้ติดตั้งในแนวท่อได้อย่างมั่นคงและต้านทานการสั่นสะเทือน ตัววาล์วทุกตัวผ่านการทดสอบการรั่วไหลของฮีเลียม (≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/sec He) ทำความสะอาดด้วยอัลตราโซนิก และบรรจุถุงสองชั้นในสภาพแวดล้อมห้องคลีนรูม กระบวนการตัดเฉือนที่ได้รับการรับรอง ISO 9001 ของเรามอบการตรวจสอบย้อนกลับของวัสดุอย่างสมบูรณ์ รายงานการตรวจสอบขนาด และการรับรองผิวสำเร็จในทุกการจัดส่ง สามารถปรับแต่งขนาดหน้าแปลน ขนาดพอร์ต และการรักษาพื้นผิวได้ตามต้องการ
ได้รับการรับรอง ISO 9001 · ประสบการณ์กว่า 15 ปี · เครื่อง CNC กว่า 80 เครื่อง · ใบเสนอราคาภายใน 24 ชั่วโมง
Product Inquiry