



Корпус клапана регулирования потока VCR 316L EP 90 с двойным фланцем, обработанный на станке с ЧПУ — электрополированная поверхность, проверка гелиевым тестом, совместим с UHP.
| Проект | Значения параметров | |
Корпус клапана регулирования потока VCR 316L EP 90° с фланцем (монтаж на двойном фланце) | Материал | 316L Stainless Steel (1.4404) |
Внутренняя обработка поверхности | Electropolished Ra ≤ 0.4μm (16 μin) | |
Тип фитинга | VCR Face Seal (Male/Female per Port Spec) | |
Скорость утечки | ≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/sec He | |
Чистота и упаковка | Cleanliness & Packaging Ultrasonic Cleaned, Cleanroom Double-Bagged | |
Стандарты | Standards SEMI F20, SEMI F81 | |
Отслеживаемость | Traceability Full Material & Batch Traceability | |
Данный корпус клапана регулирования потока VCR 316L EP 90° с двойным фланцем прецизионно обработан на станке с ЧПУ для сверхвысокочистых систем подачи газов, где требуются точное регулирование расхода и компактные угловые соединения. Прецизионно обработан из нержавеющей стали 316L со всеми внутренними смачиваемыми поверхностями, электрополированными (Ra ≤ 0,4 мкм), он обеспечивает работу без образования частиц и с контролируемым газовыделением в критических средах технологических газов. Каждый порт оснащен встроенным торцевым уплотнительным фитингом VCR, обеспечивающим герметичное уплотнение «металл-металл» для высоконадежных газовых соединений. Конструкция с двойным фланцем обеспечивает надежную, виброустойчивую линейную установку. Каждый корпус клапана проходит гелиевый тест на герметичность (≤ 1×10⁻⁹ атм·см³/с He), ультразвуковую очистку и двойную упаковку в условиях чистого помещения. Наш производственный процесс, сертифицированный по ISO 9001, обеспечивает полную прослеживаемость материалов, предоставление отчетов о размерном контроле и сертификатов качества поверхности с каждой поставкой. По запросу доступны индивидуальные размеры фланцев, размеры портов и виды обработки поверхности.
Сертифицировано по ISO 9001 · Более 15 лет опыта · Более 80 станков с ЧПУ · Предложение за 24 часа
Product Inquiry