



صمام غشائي ذو شفة VCR من 316L EP مُشغَّل باستخدام CNC لأنظمة الغاز فائقة النقاوة (UHP) لأشباه الموصلات. مصقول كهربائياً، SEMI F20. اطلب عرض أسعار.
| المشروع | قيم المعلمات | |
جسم صمام تحكم التدفق VCR ذكر 316L EP | المادة | 316L Stainless Steel (1.4404) |
التشطيب السطحي الداخلي | Electropolished Ra ≤ 0.4μm (16 μin) | |
نوع التركيب | VCR Male Face Seal | |
معدل التسرب | ≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/sec He | |
النظافة والتعبئة والتغليف | Ultrasonic Cleaned, Cleanroom Double-Bagged | |
المعايير | SEMI F20, SEMI F81 | |
إمكانية التتبع | Full Material & Batch Traceability | |
يتم تصنيع جسم الصمام الغشائي ذي الشفة الملولبة الخارجية VCR من 316L EP بدقة باستخدام CNC لأنظمة توصيل الغاز فائقة النقاوة (UHP) في تصنيع رقائق أشباه الموصلات. مصنوع بدقة من الفولاذ المقاوم للصدأ 316L مع جميع الأسطح الداخلية المبللة مصقولة كهربائياً (Ra ≤ 0.4μm / 16 μin)، مما يضمن أداءً خالياً من الجسيمات وتحكماً في إطلاق الغازات في بيئات غازات المعالجة الحرجة. يوفر تركيب مانع التسرب الوجهي الذكري VCR المتكامل إحكاماً معدنياً ضد المعدن مانعاً للتسرب لتوصيلات الغاز عالية السلامة، بينما توفر واجهة الحجاب الحاجز ذات الشفة تشغيلاً موثوقاً وخالياً من التسرب الخارجي. يخضع كل جسم صمام لاختبار تسرب الهيليوم (≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/sec He)، والتنظيف بالموجات فوق الصوتية، والتعبئة المزدوجة في بيئة غرفة نظيفة. توفر عملية التصنيع المعتمدة بموجب ISO 9001 إمكانية تتبع كاملة للمواد، وتقارير فحص الأبعاد، وشهادة تشطيب الأسطح مع كل شحنة. تتوفر تكوينات الشفة وأحجام اللولبة وتخطيطات المنافذ والتشطيبات السطحية المخصصة حسب الطلب.
حاصل على شهادة ISO 9001 · أكثر من 15 عامًا من الخبرة · أكثر من 80 ماكينة CNC · عرض أسعار خلال 24 ساعة
Product Inquiry