반도체 UHP 가스 시스템용 CNC 가공 316L EP VCR 플랜지형 다이어프램 밸브. 전해 연마, SEMI F20. 견적 요청.
| 프로젝트 | 매개변수 값 | |
316L EP VCR 수나사 유량 제어 밸브 바디 | 재질 | 316L Stainless Steel (1.4404) |
내부 표면 마감 | Electropolished Ra ≤ 0.4μm (16 μin) | |
피팅 유형 | VCR Male Face Seal | |
누출률 | ≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/sec He | |
청정도 및 포장 | Ultrasonic Cleaned, Cleanroom Double-Bagged | |
표준 | SEMI F20, SEMI F81 | |
추적성 | Full Material & Batch Traceability | |
이 316L EP VCR 수나사 플랜지형 다이어프램 밸브 바디는 반도체 웨이퍼 제조의 초고순도(UHP) 가스 공급 시스템을 위해 CNC 정밀 가공되었습니다. 316L 스테인리스 스틸로 정밀 가공되었으며 모든 내부 접액 표면이 전해 연마(Ra ≤ 0.4μm / 16 μin) 처리되어, 중요한 공정 가스 환경에서 입자 발생이 없고 가스 방출이 제어된 성능을 제공합니다. 일체형 VCR 수 면실 피팅은 고무결성 가스 연결을 위한 누출 없는 금속 대 금속 밀봉을 제공하며, 플랜지형 다이어프램 인터페이스는 안정적인 작동과 외부 누출 제로를 보장합니다. 모든 밸브 바디는 헬륨 누출 테스트(≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/sec He), 초음파 세척을 거쳐 클린룸 환경에서 이중 포장됩니다. ISO 9001 인증 가공 프로세스를 통해 모든 선적 시 완전한 재료 추적성, 치수 검사 보고서 및 표면 마감 인증이 제공됩니다. 맞춤형 플랜지 구성, 나사산 크기, 포트 레이아웃 및 표면 마감이 요청 시 제공됩니다.
ISO 9001 인증 · 15년 이상의 경험 · 80대 이상의 CNC 기계 · 24시간 이내 견적
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