



CNC-gefertigtes 316L EP VCR Flanschmembranventil für UHP-Halbleitergassysteme. Elektropoliert, SEMI F20. Angebot anfordern.
| Projekt | Parameterwerte | |
316L EP VCR T-Verteiler-Montageadapterblock | Material | 316L Stainless Steel (1.4404) |
Interne Oberflächengüte | Electropolished Ra ≤ 0.4μm (16 μin) | |
Anschlusstyp | VCR Male Face Seal | |
Leckrate | ≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/sec He | |
Reinheit und Verpackung | Ultrasonic Cleaned, Cleanroom Double-Bagged | |
Normen | SEMI F20, SEMI F81 | |
Rückverfolgbarkeit | Full Material & Batch Traceability | |
Dieser 316L EP VCR Ventilkörper mit Außengewinde und Flansch wird CNC-präzisionsgefertigt für ultrahochreine (UHP) Gasversorgungssysteme in der Halbleiter-Wafer-Fertigung. Präzisionsgefertigt aus Edelstahl 316L mit vollständig elektropolierten inneren benetzten Oberflächen (Ra ≤ 0,4 μm / 16 μin) gewährleistet er partikelfreie, ausgasungskontrollierte Leistung in kritischen Prozessgasumgebungen. Die integrierte VCR-Male-Face-Seal-Armatur sorgt für eine leckdichte Metall-auf-Metall-Dichtung für hochintegrale Gasanschlüsse, während die geflanschte Membranschnittstelle eine zuverlässige Betätigung und null externe Leckage bietet. Jeder Ventilkörper wird einer Helium-Leckprüfung (≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/s He) unterzogen, ultraschallgereinigt und in einer Reinraumumgebung doppelt verpackt. Unser ISO 9001-zertifizierter Fertigungsprozess liefert mit jeder Lieferung vollständige Materialrückverfolgbarkeit, dimensionelle Prüfberichte und Oberflächengütezertifizierung. Kundenspezifische Flanschkonfigurationen, Gewindegrößen, Anschlussanordnungen und Oberflächenausführungen auf Anfrage erhältlich.
ISO 9001 zertifiziert · Über 15 Jahre Erfahrung · Über 80 CNC-Maschinen · Angebot innerhalb von 24 Stunden
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