



UHP yarı iletken gaz sistemleri için CNC işlenmiş 316L EP VCR flanşlı diyafram vana. Elektropolise, SEMI F20. Teklif isteyin.
| Proje | Parametre değerleri | |
316L EP VCR Erkek Akış Kontrol Vana Gövdesi | Malzeme | 316L Stainless Steel (1.4404) |
İç Yüzey İşlemi | Electropolished Ra ≤ 0.4μm (16 μin) | |
Bağlantı Tipi | VCR Male Face Seal | |
Sızıntı Oranı | ≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/sec He | |
Temizlik ve Ambalaj | Ultrasonic Cleaned, Cleanroom Double-Bagged | |
Standartlar | SEMI F20, SEMI F81 | |
İzlenebilirlik | Full Material & Batch Traceability | |
Bu 316L EP VCR erkek dişli flanşlı diyafram vana gövdesi, yarı iletken wafer üretimindeki ultra yüksek saflıkta (UHP) gaz dağıtım sistemleri için CNC hassas işleme ile üretilmiştir. Tüm iç ıslak yüzeyleri elektroparlatılmış (Ra ≤ 0,4μm / 16 μin) 316L paslanmaz çelikten hassas olarak işlenmiş olup, kritik proses gazı ortamlarında partikülsüz, gaz çıkışı kontrollü performans sağlar. Entegre VCR erkek yüzey sızdırmazlık bağlantı parçası, yüksek bütünlüklü gaz bağlantıları için sızdırmaz metal-metal sızdırmazlık sağlarken, flanşlı diyafram arayüzü güvenilir tahrik ve sıfır dış sızıntı sunar. Her vana gövdesi helyum sızıntı testine tabi tutulur (≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/sn He), ultrasonik olarak temizlenir ve temiz oda ortamında çift torbada paketlenir. ISO 9001 sertifikalı işleme sürecimiz, her sevkiyatta tam malzeme izlenebilirliği, boyutsal muayene raporları ve yüzey kalitesi sertifikası sunar. İsteğe bağlı olarak özel flanş konfigürasyonları, diş ölçüleri, port yerleşimleri ve yüzey işlemleri mevcuttur.
ISO 9001 Sertifikalı · 15 Yılı Aşkın Deneyim · 80’den Fazla CNC Makinesi · 24 Saatte Teklif
Product Inquiry