Van màng mặt bích VCR 316L EP gia công CNC cho hệ thống khí UHP bán dẫn. Đánh bóng điện hóa, SEMI F20. Yêu cầu báo giá.
| Dự án | Giá trị tham số | |
Thân van điều khiển lưu lượng VCR đực 316L EP | Vật liệu | 316L Stainless Steel (1.4404) |
Hoàn thiện bề mặt bên trong | Electropolished Ra ≤ 0.4μm (16 μin) | |
Kiểu đầu nối | VCR Male Face Seal | |
Tỷ lệ rò rỉ | ≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/sec He | |
Độ sạch và đóng gói | Ultrasonic Cleaned, Cleanroom Double-Bagged | |
Tiêu chuẩn | SEMI F20, SEMI F81 | |
Truy xuất nguồn gốc | Full Material & Batch Traceability | |
Thân van màng mặt bích ren ngoài VCR 316L EP này được gia công CNC chính xác cho các hệ thống cung cấp khí siêu tinh khiết (UHP) trong sản xuất tấm bán dẫn. Được gia công chính xác từ thép không gỉ 316L với tất cả các bề mặt tiếp xúc bên trong được đánh bóng điện hóa (Ra ≤ 0,4 μm / 16 μin), nó mang lại hiệu suất không hạt và kiểm soát thoát khí trong môi trường khí quy trình quan trọng. Đầu nối mặt bích đực VCR tích hợp cung cấp khả năng làm kín kim loại với kim loại, chống rò rỉ cho các kết nối khí toàn vẹn cao, trong khi giao diện màng mặt bích mang lại khả năng truyền động đáng tin cậy và không rò rỉ ra bên ngoài. Mỗi thân van đều được kiểm tra rò rỉ heli (≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/giây He), làm sạch bằng siêu âm và đóng gói hai lớp trong môi trường phòng sạch. Quy trình gia công được chứng nhận ISO 9001 của chúng tôi cung cấp khả năng truy xuất nguồn gốc vật liệu đầy đủ, báo cáo kiểm tra kích thước và chứng nhận độ bóng bề mặt với mỗi lô hàng. Có sẵn các cấu hình mặt bích, kích thước ren, bố trí cổng và độ bóng bề mặt tùy chỉnh theo yêu cầu.
Chứng nhận ISO 9001 · Hơn 15 năm kinh nghiệm · Hơn 80 máy CNC · Báo giá trong 24 giờ
Product Inquiry