半導体UHPガスシステム用CNC加工316L EP VCRフランジ式ダイヤフラムバルブ。電解研磨、SEMI F20。見積り。
| プロジェクト | パラメータ値 | |
316L EP VCRオス流量制御バルブボディ | 材質 | 316L Stainless Steel (1.4404) |
内部表面仕上げ | Electropolished Ra ≤ 0.4μm (16 μin) | |
継手タイプ | VCR Male Face Seal | |
リークレート | ≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/sec He | |
清浄度と包装 | Ultrasonic Cleaned, Cleanroom Double-Bagged | |
適用規格 | SEMI F20, SEMI F81 | |
トレーサビリティ | Full Material & Batch Traceability | |
この 316L EP VCR オスネジフランジ式ダイヤフラムバルブボディは、半導体ウェハ製造における超高純度（UHP）ガス供給システム向けに CNC 精密加工されています。316L ステンレス鋼を精密加工し、すべての内部接液面を電解研磨（Ra ≤ 0.4μm / 16 μin）することで、重要なプロセスガス環境において、パーティクルフリーかつアウトガスを抑制した性能を発揮します。一体型 VCR オス面シール継手は、高健全性ガス接続のための漏れのない金属対金属シールを提供し、フランジ式ダイヤフラムインターフェースは信頼性の高い動作と外部漏れゼロを実現します。すべてのバルブボディはヘリウムリーク試験（≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/sec He）、超音波洗浄を経て、クリーンルーム環境で二重包装されます。ISO 9001 認証取得の当社加工プロセスにより、出荷ごとに完全な材料トレーサビリティ、寸法検査報告書、表面仕上げ証明書をお届けします。フランジ構成、ネジサイズ、ポートレイアウト、表面仕上げのカスタマイズも承ります。
ISO 9001認証 · 15年以上の経験 · 80台以上のCNC工作機械 · 24時間以内にお見積り
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