



Диафрагменный клапан VCR с фланцем из 316L EP, обработанный на станке с ЧПУ, для сверхвысокочистых газовых систем в полупроводниках. Электрополированный, SEMI F20. Запросить предложение.
| Проект | Значения параметров | |
Корпус клапана регулирования потока VCR из 316L EP | Материал | 316L Stainless Steel (1.4404) |
Внутренняя обработка поверхности | Electropolished Ra ≤ 0.4μm (16 μin) | |
Тип фитинга | VCR Male Face Seal | |
Скорость утечки | ≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/sec He | |
Чистота и упаковка | Ultrasonic Cleaned, Cleanroom Double-Bagged | |
Стандарты | SEMI F20, SEMI F81 | |
Отслеживаемость | Full Material & Batch Traceability | |
Этот корпус диафрагменного клапана VCR с наружной резьбой и фланцем из 316L EP изготавливается с прецизионной обработкой на станках с ЧПУ для сверхвысокочистых (UHP) систем подачи газов при производстве полупроводниковых пластин. Прецизионно обработанный из нержавеющей стали 316L с полностью электрополированными внутренними смачиваемыми поверхностями (Ra ≤ 0,4 мкм / 16 микродюймов), он обеспечивает работу без образования частиц и с контролируемым газовыделением в критических средах технологических газов. Встроенный торцевой уплотнительный фитинг VCR типа «папа» обеспечивает герметичное уплотнение «металл-металл» для высоконадежных газовых соединений, а фланцевый диафрагменный интерфейс — надежное срабатывание и полное отсутствие внешних утечек. Каждый корпус клапана проходит гелиевый тест на герметичность (≤ 1×10⁻⁹ атм·см³/с He), ультразвуковую очистку и двойную упаковку в условиях чистого помещения. Наш производственный процесс, сертифицированный по ISO 9001, обеспечивает полную прослеживаемость материалов, предоставление отчетов о размерном контроле и сертификатов качества поверхности с каждой поставкой. Возможность изготовления по индивидуальным конфигурациям фланцев, размерам резьбы, расположению портов и видам обработки поверхности.
Сертифицировано по ISO 9001 · Более 15 лет опыта · Более 80 станков с ЧПУ · Предложение за 24 часа
Product Inquiry