Katup diafragma berflensa VCR 316L EP yang diproses CNC untuk sistem gas UHP semikonduktor. Elektropoles, SEMI F20. Minta penawaran.
| Proyek | Nilai parameter | |
Badan Katup Kontrol Aliran VCR Jantan 316L EP | Material | 316L Stainless Steel (1.4404) |
Penyelesaian Permukaan Internal | Electropolished Ra ≤ 0.4μm (16 μin) | |
Jenis Fitting | VCR Male Face Seal | |
Tingkat Kebocoran | ≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/sec He | |
Kebersihan & Pengemasan | Ultrasonic Cleaned, Cleanroom Double-Bagged | |
Standar | SEMI F20, SEMI F81 | |
Ketertelusuran | Full Material & Batch Traceability | |
Badan katup diafragma berulir eksternal VCR 316L EP ini diproses dengan CNC secara presisi untuk sistem penyaluran gas kemurnian ultra-tinggi (UHP) dalam fabrikasi wafer semikonduktor. Diproses secara presisi dari baja tahan karat 316L dengan seluruh permukaan basah internal dielektropoles (Ra ≤ 0,4μm / 16 μin), memberikan kinerja bebas partikel dan emisi gas terkendali di lingkungan gas proses kritis. Fitting segel muka jantan VCR terintegrasi menyediakan penyegelan logam-ke-logam anti bocor untuk koneksi gas berintegritas tinggi, sementara antarmuka diafragma berflensa memberikan aktuasi yang andal dan nol kebocoran eksternal. Setiap badan katup diuji kebocoran helium (≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/detik He), dibersihkan secara ultrasonik, dan dibungkus ganda dalam lingkungan ruang bersih. Proses pemesinan bersertifikat ISO 9001 kami memberikan ketertelusuran material penuh, laporan inspeksi dimensi, dan sertifikasi penyelesaian permukaan pada setiap pengiriman. Konfigurasi flensa, ukuran ulir, tata letak port, dan penyelesaian permukaan khusus tersedia berdasarkan permintaan.
Bersertifikat ISO 9001 · Lebih dari 15 tahun pengalaman · Lebih dari 80 mesin CNC · Penawaran dalam 24 jam
Product Inquiry